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Wafer Produktion­sanlage / Halbleiter­fertigungs­anlage

Wafer Produktion­sanlage / Halbleiter­fertigungs­anlage

High Tech im Reinraum.

Niro-Rahmenstruktur verschweißt und geschliffen für die Aufnahme der statischen und dynamischen Prozesskräfte und Roboterbewegungen. Türen, Verkleidung und Innenwannen aus hochpoliertem Spiegelblech. Innenliegende Konsolen für die Aufnahme von Handlingroboter. Eingefügte Rundrohre für die Führung der diversen Prozessmedien. Leicht und schnell öffnende Klappen am Dach und allen Seiten für Montage und Service.

Abmessungen

4800 x 1220 x 2450 mm

Materialien

Edelstahl geschliffen; Spiegelblech hochglanzpoliert

Verarbeitung

Formrohrrahmen mit Stecktüren; formiergasgeschweißt

Verschlussart

Drehriegel

Besonderheiten

Großer Edelstahl-Formrohrrahmen für Reinraumanwendung; Stecktüren aus Spiegelblech; genauer Tragrahmen für Roboter Laufbahn;
 
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